半导体设备及零部件行业简报

核心结论

AI算力需求爆发式增长带动先进AI芯片、存储芯片、高端功率器件需求大增，先进制程晶圆制造和先进封装产能持续供不应求，推动半导体设备进入增长大年。半导体核心零部件在设备成本中占比较高，随着先进制程及多腔化趋势推进，具备平台化布局与核心技术突破的国产零部件企业有望持续提升市场份额。

关键信息

• 2026年6月27日，多家A股半导体封测、存储模组、晶圆制造厂商披露扩产项目，总投资金额近450亿元。
• 据SEMI数据，2025年全球半导体制造设备总销售额达1,351亿美元；预计2026年、2027年将继续攀升至1,450亿美元、1,560亿美元。
• 先进制程对零部件提出更高要求：材料纯度、加工精度、颗粒控制、耐等离子体侵蚀、温控稳定性等。
• 设备多腔化升级成为趋势：传统“1个传输模块+2个反应腔”架构升级为“1个中央传输平台+多个主反应腔+多个辅助腔体”架构。
• 半导体设备零部件行业具有“多品种、小批量、定制化、超离散”特征，全球龙头多聚焦单一细分领域，跨品类平台型企业较少。

潜在影响

• 随着晶圆制造和先进封装扩产持续，上游半导体设备、材料厂商将获得巨大增长机遇。
• 国产半导体设备向先进制程突破的过程，将带动零部件同步升级，国产零部件企业有望通过平台化布局和多品类供应提升产业链地位。
• 存储厂单期扩产规模大（通常10万片/月以上），对单位洁净面积产能密度要求高，将加速设备多腔化演进，利好相关零部件供应商。

关注要点

• 先进制程升级对零部件高精度、高洁净度、高可靠性的需求变化。
• 设备多腔化趋势下，真空控制、热场均匀性、等离子体稳定性及自动化调度能力的技术突破。
• 具备平台化配套能力、能够实现跨品类协同供货的国产零部件企业。
• 头部半导体设备商（如拓荆科技、中微公司、北方华创等）的采购动态及国产零部件导入进度。

关联个股

• 恒运昌：首家实现等离子体射频电源系统量产的国产厂商，产品已量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创等头部设备商，并配套中芯国际、长江存储等晶圆厂。
• 英杰电气：为半导体设备、材料制造厂商提供设备电源配套服务，合作客户覆盖国内多家知名半导体企业，服务范围包括深圳、上海等产业核心区。

【电报解读】AI算力需求爆发式增长，半导体设备迎来增长大年，机构称半导体核心零部件在设备成本中占比较高，将持续受益于先进制程及多腔化升级，这家公司是首家实现等离子体射频电源系统量产的国产厂商

电报解读

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Ⅱ 电报内容

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2026.06.27 20:36 星期六

【上下游扩产忙 半导体设备迎来增长大年】财联社6月27日电，今年以来，A股已有长电科技、通富微电、华天科技、深科技、诚邦股份等半导体封测及存储模组厂商，芯联集成、民德电子等晶圆制造厂商披露扩产项目，总投资金额近450亿元。究其原因，AI算力需求爆发式增长，对先进AI芯片、存储芯片、高端功率器件（如电源IC）、互连芯片等需求大增，先进制程晶圆制造、先进封装产能持续供不应求。有半导体业内人士表示，半导体晶圆制造和先进封装扩产，叠加存储芯片扩产，给半导体设备、材料厂商带来巨大增长机遇。（上证报）

Ⅱ电报解读

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题材解读

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半导体核心零部件在设备成本中占比较高，持续受益于先进制程及多腔化升级

国产半导体设备向先进制程突破的过程，本质上也是零部件同步升级的过程。半导体设备的刻蚀均匀性、沉积一致性、真空稳定性及热场控制能力，均需依托关键零部件实现，因此设备先进制程能力的提升，本质上取决于零部件性能的同步突破。

相较成熟制程，先进制程对材料纯度、加工精度、颗粒控制、耐等离子体侵蚀及温控稳定性提出更高要求，推动零部件持续向高精度、高洁净度及高可靠性升级。

公开资料显示，相比逻辑厂单期扩产通常为2-5万片/月，存储厂单期扩产往往以10万片/月以上，对单位洁净面积内的产能密度要求显著更高，在此背景下，多腔化成为设备核心演进方向之一，即在单一平台集成更多反应腔，提高单位洁净区内的产出效率。传统刻蚀、PVD、ALD、PECVD等设备平台通常采用“1个传输模块+2个反应腔”架构，而新一代平台已逐步升级至“1个中央传输平台+多个主反应腔+多个辅助腔体”架构，对真空控制、热场均匀性、等离子体稳定性及自动化调度能力提出更高要求。

根据SEMI，2025年全球半导体制造设备总销售额达1,351亿美元；刻蚀、薄膜沉积等前道核心设备需求随先进逻辑、存储产线扩产大幅提升，预计2026年、2027年全球半导体制造设备销售额将继续攀升至1450亿美元、1560亿美元。

爱建证券半导体设备团队指出，半导体设备零部件行业具有“多品种、小批量、定制化、超离散”特征，全球龙头多聚焦单一细分领域，跨品类平台型企业相对较少。随着先进制程及多腔化趋势推进，设备厂对零部件一致性、稳定性及协同配套能力要求持续提升，具备平台化布局、多品类供应及快速迭代能力的国产零部件企业，有望持续提升市场份额与产业链地位。建议重点关注受益于先进制程升级与设备多腔化趋势、具备平台化配套能力及核心技术突破能力的国产半导体设备及零部件企业。

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相关上市公司

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恒运昌：公司产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，并配套中芯国际、长江存储等国内晶圆厂，在国内半导体领域系首家出货过亿元和首家实现等离子体射频电源系统（支持半导体先进制程）量产的国产厂商。

英杰电气：公司半导体业务领域主要是为半导体设备、材料制造厂商提供设备电源配套服务。合作客户包括多家国内知名半导体企业，服务范围覆盖全国，其中包括深圳、上海等产业核心区。