【风口研报·公司】TGV（玻璃通孔）成为先进封装关键技术路径，这家公司覆盖晶圆级+面板级TGV封装激光......

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核心结论

• 帝尔激光：公司已全面覆盖晶圆级和面板级TGV（玻璃通孔）封装激光技术，TGV激光微孔设备已实现出货并获得小批量复购。同时，针对AI服务器和光模块等高端PCB的激光加工设备即将进入量产验证阶段，有望成为新的增长点。西部证券预计公司2026-2028年归母净利润将持续增长。
• 洁净室产业链：随着两家存储芯片企业IPO推进，国内半导体产业扩产加速，催生新一轮电子洁净室建设需求。后周期的厂务设备（如高纯工艺系统、废气处理）及耗材（如电子特气、高洁净应用材料）领域迎来机遇，国产化进程稳步推进。

关键信息

主题一：帝尔激光（300776）

1. TGV技术突破：公司TGV激光微孔设备已完成面板级玻璃基板通孔设备出货，实现了晶圆级和面板级TGV封装激光技术的全面覆盖，2026年已有小批量复购订单。
2. PCB设备进展：针对AI服务器、光模块等领域高端PCB需求，公司开发的超快激光精密加工设备已完成材料验证，即将交付客户进行量产验证，且已有多家客户在公司开展打样测试。
3. 业绩预测：西部证券杨敬梅预计公司2026-2028年归母净利润分别为6.79亿元、7.92亿元、8.98亿元，同比增长30.7%、16.8%、13.4%，对应PE分别为69.1倍、59.1倍、52.2倍。

主题二：洁净室产业链

1. 行业驱动：两存IPO加速推进，国内半导体国产化大趋势下，扩产加速带动洁净室市场放量，产业链向厂务设备及服务领域延伸。
2. 市场空间：高纯工艺系统领域，2030年全球市场空间预计为391亿元；2025年国内电子特气市场规模预计达316.6亿元，但近80%依赖进口，国产化空间巨大。
3. 客户覆盖：至纯科技、美埃科技、正帆科技三家企业实现对长江存储、中芯国际、华虹半导体的全面覆盖；中船特气在特种气体领域对核心晶圆厂覆盖最为突出。

潜在影响

• 帝尔激光：TGV技术是先进封装的关键路径，随着产业化推进，公司有望在先进封装、CPO、新型显示等高景气赛道打开新业务空间。高端PCB设备的量产验证若能顺利通过，将直接受益于AI算力需求的爆发。
• 洁净室产业链：半导体扩产周期明确，将直接拉动洁净室工程、厂务设备和耗材的需求。国产厂商在成熟制程节点已取得突破，随着先进制程的推进，国产化率有望进一步提升，相关公司业绩具备较强弹性。

关注要点

1. 帝尔激光

• 关注TGV激光微孔设备在下游客户的复购订单及规模化应用情况。
• 跟踪PCB超快激光精密加工设备在客户端的量产验证结果及后续订单。
• 关注光伏主业业务的盈利稳定性。

1. 洁净室产业链

• 关注两家存储芯片企业的IPO及后续扩产计划对洁净室市场的实际拉动作用。
• 跟踪高纯工艺系统（至纯科技、正帆科技）及废气治理系统（盛剑科技）等厂务设备的订单情况。
• 关注电子特气（华特气体、中船特气等）及高洁净应用材料（新莱应材）等耗材的国产化替代进程。

关联个股

• 帝尔激光
• 洁净室厂务设备：美埃科技、正帆科技、至纯科技、盛剑科技
• 洁净室耗材：金宏气体、华特气体、中船特气、昊华科技、和远气体、凯美特气、新莱应材

路径，这家公司覆盖晶圆级+面板级TGV封装激光技术，针对AI服务器、光模块等高端PCB开发加工设备；两存IPO持续推进催生新一轮电子洁净室建设潮

风口研报

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1、帝尔激光（300776）：①在先进封装需求持续增长背景下，TGV（玻璃通孔）作为关键技术路径逐步推进产业化，带动激光微孔设备需求落地；②公司TGV激光微孔设备已完成面板级玻璃基板通孔设备出货，实现了晶圆级和面板级TGV封装激光技术的全面覆盖，2026年已有小批量复购订单；③公司针对AI服务器、光模块等领域对高端PCB的需求，开发了超快激光精密加工设备，目前已完成材料验证工作，即将交付客户进行量产验证，同时设备样机处于试制阶段，已有多家客户在公司开展打样测试；④西部证券杨敬梅预计公司2026-2028年实现归母净利润6.79/7.92/8.98亿元，同比增长30.7%/16.8%/13.4%，对应PE分别为69.1/59.1/52.2倍；⑤风险提示：宏观需求下滑，技术迭代不及预期风险。

2、洁净室产业链（新菜应材、正帆科技、盛剑科技）：①近期两存IPO加速推进，广发证券耿鹏智继续看好国内半导体国产化大趋势，扩产加速带动洁净室市场放量，洁净室产业链再延伸，包括厂务设备及服务领域也有机会；②高纯工艺系统向设备连续供应超高纯气体、化学品、液体，2030年全球市场空间391亿元，国内企业在28纳米及以上成熟制程节点已取得显著突破，部分高端机型进入量产阶段，国产化进程稳步推进，关注至纯科技、正帆科技；③废气处理作为环保安全控制环节，相关设备包括L/S、LOC-VOC、废气治理系统，关注盛剑科技；④厂务耗材包括电子气体、电子特种气体，其他EP管、气体管路模组、腔体、阀门、喷淋头、匀气盘等；⑤风险提示：投资力度不及预期等。

主題一

TGV（玻璃通孔）成为先进封装关键技术路径，这家公司全面覆盖晶圆级+面板级TGV封装激光技术，针对AI服务器、光模块等高端PCB开发加工设备

在先进封装需求持续增长背景下，TGV（玻璃通孔）作为关键技术路径逐步推进产业化，带动激光微孔设备需求落地。

西部证券杨敬梅最新覆盖 $ \underline{\text{帝尔激光}} $，公司作为光伏激光设备核心供应商，前瞻性布局实现了从光伏主业向泛半导体领域的技术延伸。

依托在超快激光领域积累的技术底蕴，公司在半导体先进封装领域取得突破，TGV激光微孔设备业务进展顺利。同时，针对AI服务器等高需求场景，其PCB超快激光精密加工设备目前已进入量产验证阶段，有望贡献新增量。

杨敬梅预计公司2026-2028年实现归母净利润6.79/7.92/8.98亿元，同比增长30.7%/16.8%/13.4%，对应PE分别为69.1/59.1/52.2倍。

一、TGV产业化落地加速，先进封装与PCB设备拓增量

公司构建了“光伏主业业务为基础、半导体业务为延伸、持续布局前瞻技术与产品”的业务体系凭借激光精密加工技术积累，公司切入面板级封装核心工艺环节，有望受益于先进封装需求扩张，打开新业务空间。

目前，公司TGV激光微孔设备已完成面板级玻璃基板通孔设备出货，实现了晶圆级和面板级TGV封装激光技术的全面覆盖，2026年已有小批量复购订单。该技术可广泛应用于先进封装、RDL、CPO、新型显示等高景气赛道。

在PCB激光钻孔设备方面，公司针对AI服务器、光模块等领域对高端PCB的需求，开发了超快激光精密加工设备。目前已完成材料验证工作，即将交付客户进行量产验证，同时设备样机处于试制阶段，已有多家客户在公司开展打样测试。

此外，公司持续研发化合物半导体、新型显示等领域的激光加工设备，深度绑定智算核心信息基础设施的核心装备需求，多赛道东易为公司长期成长打开了全新增量空间

在BC电池领域，其激光微刻蚀设备凭借自研光学习化与超精细图形控制技术，实现了对传统光刻技术的替代，显著简化了工艺流程。在TOPCon环节，TCP激光选择性减薄设备、TCI激光隔离钝化设备及LIF激光诱导烧结设备均有助于提升转换效率与电池性能，确立了其在产业链中的核心设备供应商地位。

随着光伏行业银价高企，“去银化”成为降本核心方向。公司基于BC技术布局的电镀铜设备，通过激光图形化工艺助力电池端降本。同时，在组件端，其激光焊接技术适配铜浆体系，不仅减少了银浆消耗，还支持更细焊带应用，在提升良率与电池效率方面展现出明显的工艺优势，助力公司在行业降本趋势中进一步提升渗透率。

主題二

两存IPO持续推进，国内半导体产业迎来新一轮电子洁净室建设潮，后周期厂务设备和耗材迎来机遇，分析师梳理产业链公司

近期两存IPO加速推进，广发证券耿鹏智继续看好国内半导体国产化大趋势，扩产加速带动洁净室市场放量，洁净室产业链再延伸，包括厂务设备及服务领域也有机会。

厂务设备及耗材作为细分领域设备格局更优，耗材国产化进行。

其中气体过滤设备作为控制颗粒物与AMC的核心洁净室设备，25年预计市场空间150亿元。

高纯工艺系统向设备连续供应超高纯气体、化学品、液体，2030年全球市场空间391亿元。该领域长期由国际厂商主导，但国内企业在28纳米及以上成熟制程节点已取得显著突破，部分高端机型进入量产阶段，国产化进程稳步推进。

其他厂务耗材包括：电子大宗气体、电子特种气体（2025年国内电子特气市场规模将达到316.6亿元，近80%产品依赖进口），EP管、气体管路模组、腔体、阀门、喷淋头、匀气盘等。

厂务设备&耗材领域：关注美埃科技（电子半导体洁净室介质过滤器、化学过滤器、静电过滤器等）、正帆科技（产品包括包括高纯气体和湿化学品供应系统）、至纯科技（国内高纯工艺系统领域龙头企业）、盛剑科技（国内泛半导体工艺废气治理系统解决方案领军企业）、金宏气体、华特气体、中船特气、昊华科技、和远气体、凯美特气、新莱应材（国内高洁净应用材料龙头，主营高纯不锈钢材质的真空室、泵阀、管道管件等产品）等。

表4：厂务设备、耗材上市公司估值情况表（2026.5.22）

资料来源：Wind、广发证券发展研究中心 注：市盈率预期均采用 Wind 一致预期

一、各家厂务设备上市公司披露业主服务与合作情况

国内客户服务经验方面：至纯科技、美埃科技、正帆科技三家企业实现对长江存储、中芯国际、华虹半导体的全面覆盖，客户卡位优势突出。盛剑科技主营工艺废气治理系统，与中芯国际、华虹半导体有合作经验。

资料来源：各公司官网、各公司微信公众号、正帆科技财报、美埃科技招股说明书、美埃科技投资者关系活动记录表、上证e互动、广发证券发展研究中心

二、各家厂务耗材上市公司披露业主服务与合作情况

金宏气体、华特气体、中船特气三家企业覆盖范围较广，客户卡位优势明显。其中，中船特气实现了对中芯国际、华虹半导体、上海华力集成的全面覆盖，在三家晶圆厂均有配套，显示其在特种气体领域的客户深度和产品竞争力最为突出；华特气体同时覆盖中芯国际和华虹半导体，在核心晶圆厂配套稳固；金宏气体则进入中芯国际和上海华力集成，同样具备较强客户基础。

各家厂务耗材上市公司披露业主服务与合作情况

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